第241章 突破4英寸制程(1 / 2)
当真空炉可以正常工作后,李元向着身后做了一个手势。
一直心焦等着结果的人,顿时欢呼起来。
李元笑着转身,开启坩埚加热装置。
透过观察窗口,可以看见,坩埚外围的铜管线圈开始变红。
他时不时地控制着真空度。
不一会,穿戴整齐的肖师傅走了进来,开始接管真空度控制工作。
李元专心观察坩埚里的变化。
不久,硅粉开始融化。
直到全部融化为通红的液体,他控制着提拉抓手下落。
当抓手下的籽晶落入液面,顿时一层液体包裹住籽晶。
他控制着电机,籽晶边旋转,边上拉。
一个直径不下3英寸的晶柱被缓缓拉起。
当单晶柱生长到5左右时,晶柱慢慢变细,直到断裂。
李元知道,旋转和提拉速度的配合出现了问题。
因为设计之初,就考虑到这种配合问题,所以,其中一个传动齿轮设计成圆锥体。
只有调整这个圆锥体的切入深度,就能够调整旋转和提拉速度。
根据经验,李元调慢一丝。
实验继续。
调整,失败,再调整,再失败。。。
中途虽然也得到过几次1尺多长的单晶柱,但这不是真空提拉炉的设计产能。
实验继续。
直到两天后,李元终于制备出一条4英寸、1.5米高的单晶柱。
当李元打开真空炉,从里面抱下这根单晶柱,其他实验室的人全都跑出来,趴在玻璃上看着热闹。
黄燕开心地拍着李元的后背,她昨天,也加入了真空炉的调试。
“成功了?”
“成功了!”,李元的声音都在颤抖。
黄燕转向大厅,看着已经陷入欢乐海洋中的师兄、师弟、师妹们,哈哈大笑。
龚师兄坐着没动,脸上慢慢留下一粒粒泪水。
当初他意气风发,主抓半导体实验室,短短几年内取得了骄人的成绩。
正当他准备大展拳脚的时候,他的工作被停止。
实验室被关停。
然后就是领导谈话。
他当时是迷茫的,心中一直憋着一股火。
来到这个地下实验室,从此变得岌岌无名,还要听从小师弟的指挥。
他迷茫过,也痛苦过。
在老师的劝导下,最后还是说服自己,从此配合好李元这个小师弟。
直到安装起来真空提拉炉,他一直期盼着成功的那一天。
今天成功了,心中的郁结得到了缓解。
看着蹦蹦跳跳、没心没肺的黄燕,他笑了,也哭了。
无尘实验室里,黄燕慢慢冷静。
她开始专心地清理坩埚,并加入新的硅粉。
在李元的指导下,关闭真空炉,开始抽真空。
1个半小时后,除了真空度需要人工控制,单晶棒的制备完全是自动完成。
结果非常喜人,黄燕利用真空炉,也得到一根同样尺寸的单晶柱。
黄燕激动地和李元击掌相庆。
龚师兄,坐在大厅里,开心地看着他们。
二人走出无尘车间。
“今天早下班,一人一斤肉票,一斤花生油”。
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